重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如arf, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯---纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯---气的纯度要求99.999%，---是产生激光的，---气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。20w机型可发生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可见光波长分别是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。蓝绿光波段中，而的是514.5及488 nm。---离子激光可发生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次为413.1及530.9 nm。产品中，有将氩气与---气混合的机型。

气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将---（he）---（ne）激光作为代气体激光，---激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------（krf）激光，可称为第三代激光。一方面氩激光很少见，另一方面为了便于称号，人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此，英文文献亦见此用法，所以在不致混杂的时候，仍可用氩激光称号氩离子激光。

如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光，---激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光，可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及---离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。

中性原子激光中，常见的是------激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色---，所以常用作非可见光激光中的指引光束(guiding beam)。其---的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110v的电压、价格相对地)，使它广用于扫描读码设备及全像等。在激光焊接中，保护气体会影响焊缝成型、焊缝、焊缝熔深及熔宽，---多数情况下，吹入保护气体会对焊缝产生积极的影响作用，但是也可能会带来不利的作用。如果将---（he）---（ne）激光作为代气体激光，---激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------（krf）激光，可称为第三代激光。