特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，---是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性---和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。

特种气体分类：标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性---和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、、传感器校核等诸多领域的需求，特种标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性---和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。

特种气体的储存注意事项：储存场地的道路，应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏，长期存放的充填高压容器需要每月复检一次，并做记录。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和---性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和---性，我国特种气体行业在 2006 年后进入快速发展阶段，广泛应用于集成电路、显示面 板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、和新兴产业领域，