特种气体系统的设计与施工
管道系统的设计
1.材料的选择
特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光（ep）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
2.主管路系统的设计
在确定好气体房和用气点以后，高纯度特种气体厂家，主管路系统一般遵循管道线路1短，高纯度特种气体多少钱，拐弯少，特种气体公司，布置紧凑合理，给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。
特种气体充装要点
一、永1久性气体的充装
1、培训、持证上岗、遵守规程。
2、佩戴防护用品、检查设备。
3、对钢瓶复查、检查气密性。
4、开启总阀，沈阳特种气体，准备充气。
5、充装时的检查。
6、发现问题的处理。
7、压力大于12.5mpa时，禁止进入。
8、确定高充装压力。
9、切换总阀，分类堆放好。
基准温度：是由气体产品标准规定的基准充装标准温 度。我国规定是20℃
特种气体系统的设计与施工
供气系统的选择
简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。
惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有---危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全---。
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