安徽特种气体-安徽谱纯 配置-特种气体厂

 特种气体 spe---lily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。为了提高气体稳定性和保质期，天然1气公司已经开发出各种技术，安徽特种气体，以1小化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力，然后再填充特种气体。

 特种气体是指稀有气体或纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的---性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。特种气体广泛应用于半导体制造行业，是---规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，特种气体厂，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业是当今推动科技发展的---产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。