特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。
电子工业是当今推动科技发展的---产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。为了提高气体稳定性和保质期，特种气体厂，天然1气公司已经开发出各种技术，以1小化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力，然后再填充特种气体。工业上，特种气体供应商，把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多，广州特种气体，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小，但根据不同的用途。
电子特种气体种类多样行业集中度高，细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年全球半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元，同比增长 5.7%；国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元，预计到 2020 年将突破 68 亿元。特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。在半导体制造过程中涉及的材料众多，在半导体集成电路的生产过程中，特种气体厂家，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体，因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
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