




特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2,减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3,刻蚀工艺用到 cf4;特种气体的储存注意事项:高压容器内,存有内容物时,特种气体供应,无论内容量多少,在该容器储存场地2m内,严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。特种气体的储存注意事项:储存场地的道路,应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏,长期存放的充填高压容器需要每月复检一次,并做记录。
特种气体分类:标准气体严格---应称为标准校正气体,是一种高度均匀, 稳定性---和量值准确的气体,可分为单元标准气体和多元标准气体,目前标准气基本 满足了我国石油、化工、、传感器校核等诸多领域的需求,特种标准气体严格---应称为标准校正气体,是一种高度均匀,稳定性---和量值准确的气体,它可以是单一的纯气体或高纯气体,也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一,故又称为气体标准物质。特种气体在集成电路领域的应用:特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料,处于半导体产业链的 上游,被称为半导体的“源”,主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
特种气体是指稀有气体或纯度(99.995% 以上)的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的性质,它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。特种气体广泛应用于半导体制造行业,是---规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业是当今推动科技发展的---产业,由于所用气体的品种多、要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。
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