




对于硅和二氧化硅体系,采用cf4-o2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四---碳的热稳定性---。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198 °c时,四---碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597,工业四---碳价格, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm),四---碳价钱, β = 118.73° 。四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。
因为四---碳和四---1硅都是共价化合物,工业四---碳厂家,然而碳氟键的键能远远大于硅氟键的键能,键长也是前者短得多,所以四---碳的热稳定性---。吸入四---碳的后果与浓度有关,包括头1痛、---、头昏眼花及心血1管系统的破坏(主要是---)。长时间接触会导致---的---破坏。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),长沙四---碳,然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒---物。
---1碳与氟1---的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分经精馏而得成品。相对分子量88.00。在常温下,四---碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是稳定的有机化合物之一,不易溶于水。四---1碳的溶氧性---,因此被科学家用于超---潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的---内,小白鼠仍可安全脱险。
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