重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如arf， krf，佛山激---体， xef， krcl， xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，ar激---体厂家，激光混合气配制精度要求高，高纯---纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯---气的纯度要求99.999%，激---体供应商，---是产生激光的，---气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。20w机型可发生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可见光波长分别是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。蓝绿光波段中，而的是514.5及488 nm。---离子激光可发生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次为413.1及530.9 nm。产品中，有将氩气与---气混合的机型。
如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光，---激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光，可称为第三代激光。激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气，当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体，一般压力要求比较高。目元激光混合气体的方案组成比例：co:4%，co2：8%，he:28%，n2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到输出功率，并且切割钢板厚度达到25mm，还可以---的---工件。
准分子(excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子he2、ar2、xe2等；其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。au，cu，ba，sn，pb，ar激---体，zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。激光切割机所用气体的种类和作用：1）空气：作为切割气体使用 作为冷却切使用 作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间）2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5%3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4） 4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%5）高纯---：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%6）高纯---：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% ；
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