20 世纪 80 年代，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，特种气体价格，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤，其中气体的纯化、混配等是气体公司的竞争力。特种气体的储存注意事项：高压容器内，存有内容物时，无论内容量多少，特种气体有哪些，在该容器储存场地2m内，特种混合气体，严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。
特种气体是光电子、微电子等领域，---是在---的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。自80年代1开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达水平相近。
自80年代1开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达水平相近。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。包装标志：有毒气体。常温下，西安特种气体，干氯不腐 蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成---和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与---中的湿气隔离
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