广东激---体-谱纯气体,-高纯准分子激---体

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    2024-3-11

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气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,---是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光,---激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光,可称为第三代激光。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。准分子(excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子he2、ar2、xe2等;其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。



中性原子激光与离子气体激光的差别,在于前者的激光光来自中性原子能阶之间的跃迁,激---体厂家,后者是离子的能阶( 如ar+,kr+ )间之跃迁。因此,氩激光(argon laser)与氩离子激光(argon ion laser)并不相同,前者的激光光波长属于红外线波段,后者则在可见光和紫外线区。激---体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体,对气体要求高,激光混合气配制精度要求高,高纯---纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,激---体公司,高纯---气的纯度要求99.999%,---是产生激光的,---气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。激光切割机所用气体的种类和作用:1)空气:作为切割气体使用 作为冷却切使用 作为光路内部除尘使用(保护镜片延长镜片的使用时间)2)普氧:作为切割碳钢的气体(助燃性)纯度99.5%3)纯氮:作为切割不锈钢的气体(冷却性)纯度99.9%(切割碳钢速度为3/4) 4)高纯氮:作为激光器的使用气体,纯度:99.999%5)高纯---:作为激光器的使用气体,高纯准分子激---体,纯度:99.999%6)高纯---:作为激光器的使用气体,纯度:99.999% ;



重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf,广东激---体, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。



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