




电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,四---碳价格,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---,---四---碳(cf4)的纯度和安全稳定使用。高纯四---碳是纯度在99.999%以上的四---碳产品,成都四---碳,是一种无色无味气体。高纯四---碳不可燃烧,在常温常压条件下化学性质稳定,在密闭容器中遇高热有危险,不溶于水,可溶于---、等部分溶剂。四---碳作为制冷剂是一种无色不可燃气体,能够保障液体运输的安全性。在---医学中,四---碳还是一种高浓度的醉剂。由以上看出,四---碳的应用范围广泛,在下游电子产业等带动下,行业快速发展。
四---碳是目前微电子工业中用量大的等离子烛刻气体,其高纯气及四---碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,cf4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四---碳也一样,比如我们公司生产的钢瓶装四---碳在14mpa的气压下也是液态的,在正常---压下就是气态的,四---碳是有一定毒性的应该不能用作呼吸。产品经除尘,四---碳批发,碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去o2、n2、h2,得到高纯cf4。
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