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激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯---纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯---气的纯度要求99.999%，---是产生激光的，---气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光，---激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光，可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。

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